2.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡結(jié)構(gòu),并應具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室(區(qū))內(nèi)外的壓差監(jiān)測,宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū))的送風量或回風量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時,電加熱器與風機應聯(lián)鎖控制,并應設置無風、超溫斷電保護;當采用電加濕器時,應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下,宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。浙江靜電無塵室檢測服務
16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規(guī)定:在風系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時,除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應符合現(xiàn)行的相關(guān)產(chǎn)品標準規(guī)定外,還應在系統(tǒng)和該裝置正常運轉(zhuǎn)條件下,檢測室內(nèi)臭氧濃度。應按附錄E檢驗,結(jié)果應符合設計要求。當設計無明確要求時,應符合現(xiàn)行國家標準《室內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規(guī)定:當對新風效果作細致確認時,可在風系統(tǒng)正常運行、室內(nèi)處于動態(tài)條件下,于每一班次結(jié)束之前檢測室內(nèi)二氧化碳濃度,按附錄E檢驗,結(jié)果應符合設計要求。當設計無明確要求時,應符合現(xiàn)行國家標準《空內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.10%的規(guī)定。16.4.24當需要測定分子態(tài)污染物濃度時,可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測,結(jié)果應符合設計要求或雙方商定的標準。微生物無塵室檢測范圍由HEPA或ULPA與風機組合在一起,構(gòu)成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。
13.3.1可拆卸式電磁屏蔽室的壁板、頂板和底板宜選用1.5mm厚鋼板,或0.3mm~0.5mm厚鋼板、鋁板或不銹鋼板。屏蔽模塊板相互連接處應安裝連續(xù)的導電襯墊。施工直接安在圍護結(jié)構(gòu)地面上的底板時,底板與地面之間應鋪2mm~3mm厚的電絕緣和能隔水汽的墊層。安裝過程中不得在底板上灑水。13.3.2焊接式電磁屏蔽室的壁板和頂板宜選用2mm厚鋼板,底板宜選用2.5mm~3mm厚鋼板。選用銅板、鋁板或不銹鋼板時,均宜選用0.3mm~0.5mm厚的薄板。焊接時嚴禁燒穿屏蔽壁板,不得使壁板變形。當在屏蔽壁板表面粘貼鐵氧體等吸波材料時,必須把表面焊縫打磨平整。
E.2.1靜壓差的測定應在所有房間的門關(guān)閉時進行,有排風時,應在比較大排風量條件下進行,并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差,直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境(或向室外開口的房間)之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室,還應測定在門開啟狀態(tài)下,離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關(guān)閉的開口與鄰室相通的潔凈室,還應測定開口處的流速和流向。E.2.1靜壓差的測定應在所有房間的門關(guān)閉時進行,有排風時,應在比較大排風量條件下進行,并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差,直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境(或向室外開口的房間)之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室,還應測定在門開啟狀態(tài)下,離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關(guān)閉的開口與鄰室相通的潔凈室,還應測定開口處的流速和流向。無塵室的設計充分考慮了環(huán)境污染的來源。
13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風口和風管,應選用導電材料制作,并應接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應在其表面安裝金屬網(wǎng),并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導體,并應采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設置靜電消除器.防靜電安全工作臺。13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風口和風管,應選用導電材料制作,并應接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應在其表面安裝金屬網(wǎng),并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導體,并應采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設置靜電消除器.防靜電安全工作臺。在額定風量下,極易穿透粒徑法的效率在99.9995%以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。上海國內(nèi)無塵室檢測標準
塵室通常采用高效的HEPA(高效顆??諝猓┻^濾器或ULPA(超高效顆粒空氣)過濾器,可有效過濾微小的灰塵。浙江靜電無塵室檢測服務
4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等,也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,應包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時,宜采用微環(huán)境等型式。浙江靜電無塵室檢測服務