單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測試項目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測點風(fēng)速的時間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得亂流非單向流潔凈室凡不符合單向流定義的氣流的潔凈室?;旌狭鳚崈羰遥簡蜗蛄骱头菃蜗虻臍饬鞯臐崈羰摇8=ㄅ棚L(fēng)柜檢測誠信推薦
1.送風(fēng)量與排風(fēng)量如果是紊流潔凈室,那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制為證明各區(qū)之間氣流運動方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動,必須檢測:2.1各區(qū)間的壓差正確;2.2門口處或墻、地板等處的開口處氣流運動方向正確,即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動。3.過濾器檢漏對高效過濾器及其外框要進行檢驗,以保證懸浮污染物不會穿過:3.1損壞了的過濾器;3.2過濾器與其外框間的縫隙;3.3過濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。4.隔離檢漏這項測試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈室。福建排風(fēng)柜檢測誠信推薦潔凈室檢測后,需形成詳細的檢測報告,記錄各項指標數(shù)據(jù)。
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因為現(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準,隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響。實時監(jiān)測系統(tǒng)能夠持續(xù)監(jiān)控潔凈室環(huán)境,及時發(fā)現(xiàn)異常情況。
抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺進行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進行檢漏。技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過濾器,應(yīng)用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種。各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。北京口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測技術(shù)好
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1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備,以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,對空氣潔凈度要求嚴格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機房,空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對空氣潔凈度要求嚴格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè),易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運輸路線,并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級房間之間聯(lián)系頻繁時,宜設(shè)有防止污染的措施,如氣閘室、傳遞窗等。6應(yīng)設(shè)置單獨的物料入口,物料傳遞路線應(yīng)極短,物料進人潔凈室(區(qū))之前應(yīng)進行清潔處理。福建排風(fēng)柜檢測誠信推薦