江蘇半導體凈化車間無塵室檢測報告

11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數(shù)和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現(xiàn)場的凈化空調(diào)系統(tǒng)應已連續(xù)運行24h以上；現(xiàn)場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現(xiàn)場前，應徹底清潔，并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區(qū)域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，并應裝飾處理。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。江蘇半導體凈化車間無塵室檢測報告

9.2.1純水系統(tǒng)的設備配置除應滿足所需水量和水質(zhì)的要求外，還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。9.2.2純水的制備、儲存和輸送設備,應符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求,并應符合下列規(guī)定:1純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇,應滿足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求;2純水儲罐、輸送設備的選型和制造材料的選擇,應確保水質(zhì)污染少、密封性好,不得有滲氣現(xiàn)象;3純水制備、儲存、輸送設備應有效地防止水質(zhì)降低。上海半導體凈化車間無塵室檢測流程指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8~15m(除工藝特殊要求外）的區(qū)域。

無塵車間工程主要包括無塵車間設計、施工和運行管理前后相關的三個環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設計，設計是**。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程，包括圍護結(jié)構(gòu)(俗稱“房中房”)；空調(diào)凈化系統(tǒng)；供電、自控、弱電系統(tǒng)；純水、特氣、物料供應系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關設施。運行管理包括：實時檢測，人員培訓，設備維護，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。三個環(huán)節(jié)涵蓋了空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)三個占有狀態(tài)；環(huán)境受控又融合了風險評估、生產(chǎn)認證的概念和程序；加之潔凈技術跨行業(yè)、跨專業(yè)、跨學科的特點：使之無塵車間工程的難度和復雜性增加。因此對于無塵車間工程行業(yè)來說，優(yōu)化設計、現(xiàn)場施工環(huán)境的協(xié)調(diào)與管控、工程相關技術細節(jié)的經(jīng)驗積累，對客戶需求的理解和實現(xiàn)，以及對設計變更的準備和響應程度等都是衡量無塵車間施工團隊能力的重要指標。

4潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術夾層(不包括不通行的技術夾層)應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。12.3.5潔凈廠房應設置火災自動報警及消防聯(lián)動控制?？刂圃O備的控制及顯示功能應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50116的有關規(guī)定，潔凈室（區(qū)）火災報警應進行核實，當確認火災后，在消防控制室應對下列各項進行手動控制：1關閉有關部位的電動防火閥，停止相應的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風機、排風機和新風機，并接收其反饋信號；2啟動排煙風機，并接收其反饋信號；3.在消防控制室或低壓配電室，手動切斷有關部位的非消防電源。沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。

12.4.2消防應急照明燈(以下簡稱照明燈）的安裝應符合下列規(guī)定：1當照明燈安裝在墻上時，照明燈光線不應正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上，或1m~2.2m之間的側(cè)面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊，四周應密封。3疏散走道上安裝的照明燈應均勻布置，并保證其地面平均照度不低于5lx。12.4.3蓄光型疏散指示標志牌(以下簡稱標志牌）的安裝應符合下列規(guī)定：1標志牌安裝在疏散走道和主要疏散路線的地面或靠近地面的墻上時，其箭頭應指向**近的疏散出口或安全出口。2標志牌安裝在墻上時，其下邊緣距地面距離不應大于1m；安裝在地面上時，應采用粘貼、鑲嵌式工藝安裝，其安裝后應平整、牢固。高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。上海口罩生產(chǎn)車間環(huán)境無塵室檢測范圍

無塵室在各個行業(yè)中都有應用，尤其是需要對空氣粒子進行控制的環(huán)境和行業(yè)。江蘇半導體凈化車間無塵室檢測報告

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設計應根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應按生產(chǎn)工藝要求選擇。3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設計應根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應按生產(chǎn)工藝要求選擇。江蘇半導體凈化車間無塵室檢測報告