溫濕度潔凈室檢測(cè)

潔凈室空氣潔凈度等級(jí)劃分與檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)依據(jù)ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)，按每立方米空氣中粒徑≥0.1μm至≥5μm的顆粒物濃度劃分（如ISO Class 1級(jí)要求≥0.1μm粒子數(shù)≤10個(gè)）。檢測(cè)時(shí)需使用激光粒子計(jì)數(shù)器在靜態(tài)和動(dòng)態(tài)條件下分別采樣，采樣點(diǎn)需均勻分布于工作高度（0.8-1.5米）。例如，某半導(dǎo)體晶圓廠因未在動(dòng)態(tài)環(huán)境下檢測(cè)，導(dǎo)致實(shí)際生產(chǎn)時(shí)懸浮粒子超標(biāo)，造成整批晶圓報(bào)廢。檢測(cè)時(shí)還需注意采樣流量與房間換氣次數(shù)的匹配（如ISO 5級(jí)房間換氣次數(shù)需≥250次/小時(shí)），并避開氣流干擾區(qū)域。建議企業(yè)建立潔凈度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，結(jié)合大數(shù)據(jù)分析預(yù)測(cè)污染趨勢(shì)。根據(jù)潔凈室特點(diǎn)，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。溫濕度潔凈室檢測(cè)

8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設(shè)應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間。2干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。3易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道應(yīng)明敷。4當(dāng)易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)時(shí)，必須采取可靠的濃度檢測(cè)報(bào)警、通風(fēng)措施。8.1.2潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。8.1.3工業(yè)管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。2在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。3應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。4管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。8.1.4工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。8.1.5可燃?xì)怏w管道、氧氣管道的末端或比較高點(diǎn)均應(yīng)設(shè)置放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1m，并應(yīng)有防雨、防雜物侵入的措施。北京實(shí)驗(yàn)室潔凈室檢測(cè)評(píng)估干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面，2當(dāng)采用踢腳時(shí)，踢腳不宜突出墻面。單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整個(gè)室截面上通過的潔凈室。

15.3.2有微振動(dòng)控制要求的潔凈室（區(qū))，其建筑結(jié)構(gòu)的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1建筑物基礎(chǔ)宜置于動(dòng)力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；2應(yīng)設(shè)置**的建筑結(jié)構(gòu)微振動(dòng)控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；3主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動(dòng)控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。15.3.3有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備和管道，宜采取主動(dòng)隔振措施，并應(yīng)符合下列要求.1宜采用隔振臺(tái)(座）；2應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)。浙江微生物潔凈室檢測(cè)流程

層流設(shè)備FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）需每月檢測(cè)風(fēng)速均勻性。溫濕度潔凈室檢測(cè)

12.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對(duì)凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測(cè)，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。溫濕度潔凈室檢測(cè)