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選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則:1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔,所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w,而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象,所用方法簡便易行,經(jīng)濟(jì)實(shí)用。為保證測試漏率真實(shí)有效:(1)標(biāo)準(zhǔn)漏孔每年送有專業(yè)資質(zhì)計(jì)量單位計(jì)量;(2)使用兩年以上建議更換標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)?浙江小型氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢
隨著汽車行業(yè)的迅猛發(fā)展,汽車空調(diào)行業(yè)對氦檢的需求越來越大,對氦檢的性能指標(biāo)要求越來越高。氦檢儀在汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器和壓縮機(jī)檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優(yōu)點(diǎn)的同時,更具備操作方便、工作節(jié)拍快、誤判率低等獨(dú)有特點(diǎn)。對被檢工件抽空后充入一定壓強(qiáng)的氦氣,被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏,則漏入真空箱的氦氣可通過氦檢儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置,在檢漏前后分別實(shí)現(xiàn)氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對汽輪機(jī)內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏,還有冷凝罐的檢漏,由于每一個環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會增加生產(chǎn)成本,所以電廠檢漏在實(shí)際生產(chǎn)中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用。上海無損氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲。
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時間,耗時耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染,對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏;3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會失效。綜上所述,氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。
氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護(hù),使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測試結(jié)果。產(chǎn)品普遍應(yīng)用于科研院所、航空航天、動力鋰電池,閥門、精密儀表、機(jī)械加工、電力、半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。氦檢儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦檢儀成功應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥中的氣路管道檢漏,經(jīng)過檢漏后的調(diào)節(jié)閥普遍應(yīng)用于電廠、生物制藥、化工等行業(yè)。
氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗(yàn)方法:1、反應(yīng)時間、消除時間及其測定,反應(yīng)時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟,本底訊號為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時,由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間,記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后,停止送氦,其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間,記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速,質(zhì)譜室極限真空,尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測定儀器入口處抽速。氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。上海無損氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用
氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。浙江小型氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢
氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。靈敏度、反應(yīng)時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價(jià)氦檢儀的主要性能指標(biāo)。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下:(1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害;(2)不能燃燒,作業(yè)安全;(3)惰性氣體,和被檢測對象不會發(fā)生化學(xué)反應(yīng);(4)分子直徑和質(zhì)量小,容易穿過微小縫隙,便于檢漏;(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài),不會堵住微漏孔;(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣;(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm,容易定點(diǎn)查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多,向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作,否則不利于判定漏點(diǎn)所在。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜,或漏率極小時,可針對重點(diǎn)部位用塑料袋套住,然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣,實(shí)現(xiàn)對特定重點(diǎn)部位的檢漏。浙江小型氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢