主體部分通常采用強(qiáng)度高、輕質(zhì)的材料,如鋁合金或碳纖維復(fù)合材料,以確保在保證結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的同時減輕自身重量,減少運(yùn)動慣性,提高操作的靈活性和響應(yīng)速度。吸臂的形狀和尺寸經(jīng)過精心設(shè)計,以適應(yīng)不同尺寸晶圓的搬運(yùn)需求。一般具有多個關(guān)節(jié)和自由度,能夠?qū)崿F(xiàn)多角度的靈活運(yùn)動,類似于人類手臂的關(guān)節(jié)活動。例如,常見的多關(guān)節(jié)機(jī)械吸臂可以在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)、伸展、彎曲等動作,確保晶圓能夠準(zhǔn)確地從一個位置移動到另一個位置,無論是在光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等設(shè)備之間的轉(zhuǎn)移,還是在晶圓存儲盒與加工設(shè)備之間的傳送,都能精確無誤。機(jī)械手臂根據(jù)結(jié)構(gòu)形式的不同分為多關(guān)節(jié)機(jī)械手臂.江蘇直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價
輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手通常具有兩個以上的自由度。這種機(jī)械手典型地由兩個連桿和手部構(gòu)成。在本說明書中,將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地,上臂連桿的一端連結(jié)于電機(jī)的輸出軸,上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端。而且,前臂連桿的另一端連結(jié)于手部。上臂連桿和前臂連桿經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié)。前臂連桿和手部也經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié)。在各個關(guān)節(jié)處安裝有軸承,以便使連桿順暢地旋轉(zhuǎn)。在輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手中,為了不污染傳送室內(nèi)而屏蔽(shield)安裝于關(guān)節(jié)的軸承。江蘇直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價運(yùn)動元件。如油缸、氣缸、齒條、凸輪等是驅(qū)動手臂運(yùn)動的部件。
本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動,且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護(hù)方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。
為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決:一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,其特征為,所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座,所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié),所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié),所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié),所述的伸展電機(jī)、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動,所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動。
中國擁有龐大的制造業(yè),是世界弟一工業(yè)機(jī)器人市場,有著1000多家與工業(yè)機(jī)器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國在機(jī)械臂制造領(lǐng)域處于大而不強(qiáng)的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機(jī)械臂的數(shù)量和市場占有份額偏低?,F(xiàn)在國內(nèi)很多機(jī)器人企業(yè)有很多都不是在真心實(shí)意地在做技術(shù),很多都是跟著國家提出的中國未來制造的政策與支持來進(jìn)行獲利的。而且很多符合精度要求的關(guān)鍵零部件很大程度上依賴于進(jìn)口。所以,中國的機(jī)械臂在技術(shù)方面遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國外,占有的只是低端市場的份額。不過,在非民用機(jī)器人與航天機(jī)械臂領(lǐng)域,中國的技術(shù)也不遜色于美國。所以說只要經(jīng)過技術(shù)的積累,中國的機(jī)械臂技術(shù)也會不比國外的差多少。 直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂,球坐標(biāo)系機(jī)械手臂,極坐標(biāo)機(jī)械手臂.
電鍍:
到這一步,晶圓基本上就完成了,現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,銅離子會從正極走向負(fù)極。
拋光:
然后將Wafer進(jìn)行打磨,到這一步晶圓就真正的完成了。
切割:
對晶圓進(jìn)行切割,值得一提的是晶圓十分易碎,因此對切割的工藝要求也是非常高的。
測試:
測試分為三大類:功能測試、性能測試、抗老化測試。大致測試模式如下:接觸測試、功耗測試、輸入漏電測試、輸出電平測試、動態(tài)參數(shù)測試、模擬信號參數(shù)測試等等。全部測試都通過的,就是正片;部分測試未通過,但正常使用無礙,這是白片;未開始測試,就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的,這是黑片。
真空腔體開口于所述鋁合金平板上表面.江蘇直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價
因此,在設(shè)計手臂時,須根據(jù)機(jī)械手抓取重量、自由度數(shù)、工作范圍、運(yùn)動速度及機(jī)械手的整體布局。江蘇直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價
電動式 電力驅(qū)動是目前機(jī)械臂使用得**多的一種驅(qū)動方式。其特點(diǎn)是電源方便,響應(yīng)快,驅(qū)動力較大(關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤),信號檢測、傳遞、處理方便,并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動電機(jī)一般采用步進(jìn)電機(jī),直流伺服電機(jī)以及交流伺服電機(jī)(其中交流伺服電機(jī)為目前主要的驅(qū)動形式)。由于電機(jī)速度高,通常采用減速機(jī)構(gòu)(如諧波傳動、RV擺線針輪傳動、齒輪傳動、螺旋行動和多桿式機(jī)構(gòu)等)。目前,有些機(jī)械臂已開始采用無減速機(jī)構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速的電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動(DD),這既可以使機(jī)構(gòu)簡化,又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運(yùn)機(jī)械臂 這種機(jī)械臂用途很廣,一般只需點(diǎn)位控制。即被搬運(yùn)零件無嚴(yán)格的運(yùn)動軌跡要求,只要求始點(diǎn)和終點(diǎn)位姿準(zhǔn)確。如機(jī)床上用的上下料器人,工件堆垛機(jī)械臂,注塑機(jī)配套用的機(jī)械等。江蘇直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價
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