該方法包括:步驟110、將多級腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;步驟120、將來自于當前級腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當前級腔室相應的存儲箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130、使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室;步驟140、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān);步驟150、取出被阻塞的所述過濾器。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,因此,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān)。在上述實施例中,對各個實施例的描述都各有側(cè)重,某個實施例中沒有詳述的部分,可以參見其他實施例的相關(guān)描述。以上對本申請實施例進行了詳細介紹,本文中應用了具體個例對本申請的原理及實施方式進行了闡述,以上實施例的說明只是用于幫助理解本申請的技術(shù)方案及其思想;本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換。鋁剝離液的配方是什么?安徽ITO蝕刻液剝離液推薦廠家
形成帶有沉淀物的固液混合物,打開一級過濾罐進料管路上的電磁閥18,固液混合物進入一級過濾罐16的過濾筒中,先由一級過濾罐16的過濾筒過濾得到一級線性酚醛樹脂,濾液由提升泵6送往攪拌釜的循環(huán)料口7,往復3次數(shù)后,一級線性酚醛樹脂回收完成,關(guān)閉一級過濾罐進料管路上的電磁閥18,利用提升泵6將一級過濾罐16中濾液抽取到攪拌釜10內(nèi)備用;2、向攪拌釜10中輸入酸性溶液,與前述濾液充分攪拌混合再次析出沉淀物,即二級線性酚醛樹脂,利用ph計檢測溶液ph值,當達到5-7范圍內(nèi)即可,打開二級過濾罐13進料管路上的電磁閥17,帶有沉淀物的混合液進入二級過濾罐13中,由其中的過濾筒過濾得到二級線性酚醛樹脂,廢液二級過濾罐底部的廢液出口20流出,送往剝離成分處理系統(tǒng)。上述過濾得到的一級線性酚醛樹脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料,而二級線性酚醛樹脂可用于其他場合。滁州ITO蝕刻液剝離液按需定制如何選擇一家好的做剝離液的公司。
所述功能切換口3外部并聯(lián)有高純水輸入管線1和沉淀劑輸入管線2。所述二級過濾罐13的底部設(shè)有廢液出口20。所述一級過濾罐16和二級過濾罐13內(nèi)部均懸設(shè)有攔截固體成分的過濾筒。本實施例中,所述一級過濾罐16和二級過濾罐13的結(jié)構(gòu)相同,以一級過濾罐16為例,由外殼1601、懸設(shè)于外殼1601內(nèi)的過濾筒、扣裝于過濾筒頂部的壓蓋1602組成。所述壓蓋1602中心設(shè)有對應進料管路15的通孔。所述過濾筒由均勻布設(shè)多孔1606的支撐筒體1605、設(shè)于支撐筒體1605內(nèi)表面的金屬濾網(wǎng)1604、設(shè)于金屬濾網(wǎng)1604表面的纖維濾布1603組成。所述支撐筒體1605的上沿伸出外殼1601頂部并利用水平翻邊支撐于外殼1601上表面,所述金屬濾網(wǎng)1604的上沿設(shè)有與支撐筒體1605的水平翻邊扣合的定位翻邊。所述支撐筒體1605的底面為向筒體內(nèi)側(cè)凹陷的錐面1607,增加了過濾面積,提高了過濾效率。所述攪拌釜10設(shè)有ph計(圖中省略),用于檢測溶液ph值。攪拌釜10由釜體8、設(shè)于釜體8頂部的攪拌電機4、與攪拌電機4連接的攪拌桿11、設(shè)于攪拌桿11末端的攪拌槳12組成,所述攪拌槳12為u字形,釜體8外表面設(shè)有調(diào)溫水套9。工作過程:1、先向攪拌釜10內(nèi)投入光刻膠廢剝離液,再向釜內(nèi)輸入高純水,兩者在攪拌釜10內(nèi)攪拌均勻。
隨著國內(nèi)電子制造產(chǎn)業(yè)和光電產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,光刻膠剝離液等電子化學品的使用量也大為増加。特別是縱觀近幾年度的光電行業(yè),風靡全球的智能手持設(shè)備、移動終端等簡直成為了光電行業(yè)的風向標:與之相關(guān)的光電領(lǐng)域得到了飛速的發(fā)展,鏡頭模組、濾光片、LTPS液晶顯示面板、觸摸屏幕、傳感器件等等。而光電行業(yè)的其他領(lǐng)域,雖然也有增長,但是遠不及與智能手持設(shè)備相關(guān)的光電領(lǐng)域。工業(yè)上所使用的剝離液主要是有機胺和極性有機溶劑的組合物,通過溶脹和溶解方式剝離除去光刻膠。上述有機胺可包括單乙醇胺(MEA),二甲基乙酰胺(DMAC),N-甲基甲酰胺(NMF),N-甲基ニ乙醇胺(MDEA)等。上述極性有機溶劑可包括二乙二醇甲醚(DGME),二乙二醇單丁醚(BDG),二甲亞砜(DMS0),羥乙基哌嗪(NEP)等。由于LCD液晶屏具有體積小、質(zhì)量輕、清晰度高、圖像色彩好等優(yōu)點,被廣泛應用于工業(yè)生產(chǎn)中,按目前使用的液晶電視、電腦顯示屏等生命周期為6-8年計算,未來隨著年代的更替,LCD的生產(chǎn)量液將會增加,從而導致剝離液的使用量也大量增加,剝離液大量使用的同時也產(chǎn)生大量剝離液廢液。剝離液廢液中除了含有少量高分子樹脂和光敏劑外。 剝離液可用于去除光刻膠;
IC去除剝離液MSDS1.產(chǎn)品屬性產(chǎn)品形式:混合溶液產(chǎn)品名稱:ANS-908產(chǎn)品功能描述:用于COG重工,使IC與玻璃無損傷分離2.組成成份化學名稱CASNo含量%(v)1-METHYL-2-PYRROLIDINONE872-50-445~90N,N-DIMETHYLACETAMIDE127-19-510~58Other12~45SurfactantThickener3.危險識別可燃性液體和蒸汽警示標識外觀:透明或微黃氣味:類氨對人類和環(huán)境的危害:對眼睛和皮膚有刺激性吸入:會引起呼吸道受刺激,肝臟、腎受傷害,對系統(tǒng)有影響攝?。簳鸷粑篮拖来碳らL期接觸:會引起皮膚傷害4.緊急處理吸入:移至空氣新鮮處,呼吸困難時輸氧、看醫(yī)生攝?。貉杆賴I吐或者看醫(yī)生皮膚接觸:用大量水沖洗15分鐘以上,更換衣服、鞋,或者看醫(yī)生眼睛接觸:用大量水沖洗15分鐘以上,嚴重時看醫(yī)生5.防火措施合適的滅火裝置:水槍、泡沫滅火器、干粉滅火器、CO2滅火器特別防護措施:穿戴防護面罩閃點:>110℃自燃溫度:>340℃6.意外泄漏注意事項人員:避免吸入,避免皮膚、眼睛、衣物的接觸,霧狀時戴防護面罩環(huán)境:迅速移除火源,避免吸入和接觸清潔方法:大量泄漏應截流并泵入容器,用吸附材料吸掉殘余物;少量泄漏用水沖洗7.存儲和搬運搬運:遠離火源、煙霧;不要吸入蒸汽。剝離液有水性和溶劑型兩種不同的區(qū)分。南京市面上哪家剝離液按需定制
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以往的光刻膠剝離液對金屬的腐蝕較大,可能進入疊層內(nèi)部造成線路減薄,藥液殘留,影響產(chǎn)品的質(zhì)量。因此有必要開發(fā)一種不會對疊層晶圓產(chǎn)生過腐蝕的光刻膠剝離液。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,既具有較高的光刻膠剝離效率,又不會對晶圓內(nèi)層有很大的腐蝕。本發(fā)明通過如下技術(shù)方案實現(xiàn)上述目的:一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去離子水。具體的。安徽ITO蝕刻液剝離液推薦廠家